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潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及氣流形式

更新時(shí)間:2013-08-01      點(diǎn)擊次數(shù):2462

潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及氣流形式

凈化的定義
  凈化(潔凈)技術(shù)及玷污(微玷污)控制技術(shù),上常用玷污控制一詞,即對(duì)加工或處理對(duì)象在加工處理過程中由于玷污物質(zhì)的存在,影響對(duì)象的成功率,而對(duì)到達(dá)對(duì)象表面的玷污物質(zhì)進(jìn)行控制后,能提高對(duì)象的成功率,此有效控制玷污物質(zhì)(亦包括加工或處理對(duì)象帶有對(duì)人體有害的玷污物質(zhì)需進(jìn)行處理及隔離)的技術(shù)。

潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)
等級(jí)      >=0.5um塵粒數(shù)      >=5um塵粒數(shù)
     顆/立方英尺      顆/立方米      顆/立方英尺      顆/立方米
100      100                 3,500           /                   /
1,000      1,000                 35,000         7                 250
10,000      10,000                 350,000           70                 2,500
100,000      100,000                 3,500,000   700                 25,000

潔凈室氣流形式及其特點(diǎn)
氣流形式      適用潔凈      優(yōu)點(diǎn)      缺點(diǎn)
垂直層流底回風(fēng)      10級(jí),100級(jí)      1 效果很
2 運(yùn)轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮少
4 管理容易      1 設(shè)備造價(jià)非常高
2 擴(kuò)展比較困難
3 維護(hù)費(fèi)用高
垂直層流側(cè)回風(fēng)      10級(jí),100級(jí)      1 效果
2 運(yùn)轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮少
4 管理容易      1 設(shè)備造價(jià)非常高
2 擴(kuò)展比較困難
3 維護(hù)費(fèi)用高
混流方式      100級(jí),1000級(jí)      1 結(jié)構(gòu)比較簡單
2 效果較好      1 造價(jià)較高
2 運(yùn)行,維護(hù)費(fèi)較高
亂流方式      1000級(jí),
10000級(jí),
100000級(jí)      1 結(jié)構(gòu)簡單
2 造價(jià)低
3 擴(kuò)展方便      1 易產(chǎn)生渦流
2 不易管理

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